目前，潔凈車間已廣泛應用于各行各業(yè)的產品生產或其他要求防止粒子污染、微生物污染的環(huán)境控制，由于各行各業(yè)的產品特性不同、各種產品的生產工藝不相同，使用要求不同，因此要求控制環(huán)境的內容、指標均不會相同。所謂無塵車間的環(huán)境控制的內容應該包括：空氣凈化、潔凈建筑、與產品直接接觸的水或氣體或化學品和生產設備、工器具等的污染物控制以及微振動、噪聲、靜電的控制、防止等。所以無塵車間的設計不僅要求對室內的空氣進行凈化達到規(guī)定的空氣潔凈度等級，還必須防止因無塵車間的建造用材料、裝飾方式不當帶來的污染，有的無塵車間還要求供給超純水、超純氣體和高純的化學品等。

1、半導體集成電路要求的空氣潔凈度等級

集成電路生產環(huán)境要求的空氣潔凈度等級主要取決于集成電路的集成度，不同工序的空氣潔凈度等級是依據可能污染的概率和對器件的潛在故障確定的。

舉例說明：

例一、某廠集成電路前工序潔凈廠房，無塵車間設計按加工、生產6英寸硅片、1M集成電路，圖形特形尺雨1.0um，控制粒子粒徑0..1um.

無塵車間空氣潔凈度等級要求：

光刻、勻膠區(qū) ISO 3級

離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等操作區(qū) ISO 3級

離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等維修區(qū) ISO 5級

例二、某廠集成電路前工序潔凈廠房，無塵車間設計按加工、生產5英寸硅片、256K集成電路、圖形特形尺雨2.0um，控制粒子粒徑0.2um.

無塵車間空氣潔凈度等級要求：

光刻、勻膠區(qū) ISO 3級

離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等操作區(qū) ISO 4級

離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等維修區(qū) ISO 6級

2、一些電子產品生產環(huán)境的空氣潔凈度等級

隨著信息產業(yè)技術的發(fā)展，許多電子產品性能、質量的提高和生產過程的微細化，日益要求生產環(huán)境具有一定的空氣潔凈度等級和控制無塵車間內工藝生產所需的各類高純物質的供給質量，目前國內外還沒有統(tǒng)一電子產品的空氣潔凈度等級或生產環(huán)境控制要求的統(tǒng)一規(guī)定，各種電子產品的生產廠家依據其生產的產品品種、所采用的生產工藝技術、生產工藝設備、生產用原輔料以及無塵車間運行的實踐經驗確定設計建造無塵車間的空氣潔凈度等級。

舉例說明：

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